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结合机械与曝光加工制作MEMS产品
2006年5月31日 11:3  来源:日经BP社
   阿尔卑斯电气在日前举办的“APLS SHOW 2006”独家展会上,介绍了通过将半导体领域中常用的曝光和蚀刻加工与机械加工结合起来制作微型模具的技术。在MEMS方面,大多采用半导体领域应用的加工方式,而通过结合机械加工,则能够实现更高级的加工效果。  

  此次的技术能够使用利用金刚石刀片切削模具的加工方式。由此便可利用任意的圆锥角进行锥形加工。而作为曝光技术来说,曝光时的光线一般垂直于掩膜,因此很难以非垂直方式对掩膜面进行加工。尽管可根据结晶方位进行蚀刻,但圆锥角存在限制。另外,此次的技术还能使切削面的表面变得更为平整。在反光用途方面,无需再进行镜面加工。  

  该公司将利用基于此项加工技术的模具承接微加工业务。不准备销售模具。
 
 [关键词]:五金 刀具 模具  发表评论    【推荐】 【打印

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