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NSK开发出清洁环境下高速直动驱动器
2006年5月31日 9:28  来源:优必胜轴承网

    日本精工(以下简称NSK)开发出了用于半导体制造工艺中,在清洁环境下使用的高速直动驱动器,并已开始销售。

    对于半导体、HDD、液晶等的制造,必须是要在没有灰尘、污垢的环境下进行。此产品采用了新的吸气结构,因此成功实现了高速驱动,并实现了商品化。

    产品的特长:

    1、实现了清洁环境下BS致动器的最高速驱动

    在微粒直径为0.3um以上的灰尘在1ft3的空气中含量为30个以下的“10级”环境下,实现了1200mm/秒的速度驱动。

    2、实现了简洁化和高负荷容量

    通过在支持驱动部位的线性导轨的构造优化,结构比以前产品小15%,但负荷容量增长了50%。

    这款清洁环境下高速直动驱动器将在2006年8月投放市场,NSK计划2007年实现4亿日元的销售额。

 
 [关键词]:五金 轴承 零部件  发表评论    【推荐】 【打印

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