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日精工真空无尘环境用高清洁度轴承
 
慧聪网   2005年12月8日9时7分   信息来源:日经BP社报道    

   日本精工开发出面向半导体晶圆搬送机器人轴承——“真空无尘环境用高清洁度轴承”,并将于2006年4月上市角接触球轴承、四点接触球轴承和向心球轴承3种产品。该公司2004年上市了“真空无尘环境用N系列薄壁轴承”,与此前产品相比该产品的脱气和微尘较少,而且润滑油的耐久性也较高,此次的产品进一步降低了脱气,提高了耐久性能。

   作为发生脱气的原因,首先就是使用有机溶剂进行清洗时残留在轴承表面的油污,以及残留在封装上的润滑材料等有机物。其次,润滑剂也会产生脱气。

   新产品则采取了如下对策:(1)采用溶解力强的超纯水进行精密清洗;(2)开发出了新型封装;(3)触球轨道面采用了处理低蒸汽压碳氢化合物油烧制膜的“E-DFO”。这样一来,将附着在轴承上的残留有机物减少到了此前的大约1/5,同时将脱气减至此前1/5,耐久性能提高至此前5倍。

   该公司将在2005年12月7~9日举办的“SEMICON Japan 2005”(千叶·幕张MESSE国际会展中心)上展示该产品。
 
 
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